1、查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用，影响真空度。过高，可能会引起通大气起动时喷油。运转时，油位有所升高，属正常现象。油采用规定牌号的清洁真空泵油，从加油孔加入。加油毕后，应旋一上螺塞。油宜经过滤，以免杂物进入，堵塞油孔。
2、真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀，应与泵同时动作。
3、环境温度过高时，油的温度升高，粘度下降，饱和蒸汽压会增大，会引起真空有所下降，特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热，或改善泵油性能，真空可得到改善。
4、检查真空泵的真空以压缩式水银真空计为准，如计经充分预抽校验，泵温达到稳定，泵口与计直接接通，运转30分钟内，将达到真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关，有时误差甚至可很大，只能作参考。
5、如相对湿度较高，或被抽气体含较多可凝性蒸汽，接通被抽容器后，宜打开气镇阀，运转20～40分钟后关闭气镇阀。停泵前，可开气镇阀空载运动30分钟，以延长泵油寿命。
6、真空泵用油选择：泵油的粘度影响起动功率和泵的真空，粘度高时对真空度有利，起动功率则大一些。油在泵温下的饱和蒸汽压则会影响泵的总压强，越低越好。高速真空泵油和3#扩散泵油的粘度较1号真空泵油大，饱和蒸汽压较1号真空泵油低，但3#扩散泵油价格较高。具体选什么油，可根据上述介绍结合具体使用要求来选择。
(1)如果对真空度要求不高，且油的污染更换频繁，真空泵油供应困难，可采用50号机械油代替。
(2)如果环境温度低，起动困难，真空要求不高，可采用粘度较上略低的真宅泵油或机械油。
